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关于涂层测厚仪测量精度

发布时间:2019-07-12 08:05
       我们知道在对物体进行厚度测量时,较为重要的参数之一就是仪器测量的精度。精度不同于刻度,但在机械式的测量方法中,测量精度与最小刻度却是息息相关。例如游标卡尺的主尺上最小刻度(也可以称为分度值)为1mm,而带表的表盘上的最小刻度是0.01mm。即游标卡尺在测量物体厚度时最小的单位值是0.01mm,其精度也在0.01mm范围。游标卡尺测量出的这个值与物体的真实厚度值的偏差程度为精度,偏差越大,精度越低。一般来说,非接触式厚度测量仪器的精度相对来说是一个稳定的值,也就是说在物体厚度值的某个百分比内。
 
涂层测厚仪
涂层测厚仪
 
       涂层测厚仪测量物体表面涂层的精度是随着涂层厚度的不同而不同的,涂层测厚仪测量的精度用公式可以表达为:零点校正:±(3%H+1)μm;两点校正:±(1~3%H+1.5)μm;注:H为样品厚度。而大部分涂层测厚仪的最小测量厚度,磁性法为:0.2mm;非磁性:0.05mm。零点校准即在基体上进行一次测量,屏幕显示<X.Xμm>,按ZERO键,显示<0.0>。校准已完成,可以开始测量了。重复上述两步骤可获得更为准确的零点,高测量精度。注:本仪器提供负数显示,为用户更方便的选择零点。二点校准适用于高精度测量及小工件、淬火钢、合金钢。先校准零点,即重复零点校准,在厚度大致等于预计的待测覆盖层厚度的标准片上进行一次测量,屏幕显示<XXXμm>。用上下箭头修正读数,使其达到标准值。校准已完成,可以开始测量了。注意:上下键校准时,单次按动跳动一个数,长按会连续跳动。
 
       从上面校准的方法中可以看出,两点校准是在零点校准的基础上进行的。所以相对的来说,两点校准的精度要高于零点校准。即假如我们在对一个厚度为500μm的涂层厚度进行测量时,采用零点校准的涂层测厚仪测量精度为±(3%*500+1)μm,即精度为±16μm,而采用两点校准时精度最小可以达到±6μm。所以说,如果我们在对物体涂层厚度进行测量时,测量的精度要求较高,那么我们可以采用两点校准,以期最大程度的将精度达到最大。因为仪器有最小测量厚度值的限制,所以如果是磁性法涂层测厚仪测量最小涂层厚度为200μm,那么零点精度的最大值为7μm,两点精度最大能够达到3μm。而对于非磁性的涂层厚度测量,其最小厚度测量值为50μm,那么计算后得出的零点校准的精度为2.5μm,两点校准的精度最大可以达到1.5μm。
 
       一般来说,普通A4纸张的厚度在75μm左右,对于涂层测厚仪测量的最大量程1250μm的零点精度为38.5μm。即约测量相当于16张A4纸的涂层厚度时,精度误差在单张A4纸厚度的一半。从上述举例的游标卡尺来说,其精度只能达到最小刻度0.01mm左右,即100μm,以此数据看来,游标卡尺的精度是涂层测厚仪的最小精度38.5μm的1/3,关于涂层测厚仪测量精度的说明就聊到这里。

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